濕度控制是無(wú)塵車間生產(chǎn)需具備的重要條件，相對(duì)濕度是無(wú)塵車間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%RH的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%RH的范圍內(nèi)。

近年來(lái)，由于對(duì)工藝要求的越來(lái)越高，人們對(duì)無(wú)塵車間的要求也越來(lái)越高。無(wú)塵車間是一個(gè)比較特殊的場(chǎng)所，又叫做潔凈廠房、潔凈室(Hlean Room）、無(wú)塵室。其中，跟我們除濕機(jī)行業(yè)密切相關(guān)的就是空氣的濕度了。因?yàn)榭諝獾臐穸葘?duì)會(huì)無(wú)塵車間室內(nèi)有一些影響：

1、無(wú)塵車間里的一些物品在濕度大的環(huán)境里，往往會(huì)吸收水分，從而變形變質(zhì)。因此，繼續(xù)除濕機(jī)來(lái)確保空氣里的濕度保持在一個(gè)合理的標(biāo)準(zhǔn)。

2、無(wú)塵車間里一定會(huì)有金屬物品，濕度過(guò)于大太潮濕，金屬會(huì)受潮，會(huì)被腐蝕！

3、前面兩點(diǎn)是空氣的濕度過(guò)于大會(huì)引起的問(wèn)題，同樣的空氣的濕度過(guò)于小，就是空氣太干燥也是不行的。如果無(wú)塵車間里的空氣太干燥，是容易引起靜電的。

4、既然是車間，定有工人在操作。科學(xué)研究表明了，我們?nèi)梭w在空氣濕度在40%—60%RH之間是比較舒適的。空氣濕度過(guò)于高，人的皮膚可能會(huì)過(guò)敏濕疹，會(huì)無(wú)精打采，萎靡不振；空氣過(guò)于干燥，會(huì)誘發(fā)各種呼吸系統(tǒng)的疾病。

5、無(wú)塵車間并非無(wú)菌車間，在無(wú)塵車間里要保持好一個(gè)好的空氣濕度。經(jīng)過(guò)研究表明，細(xì)菌和其他生物污染在相對(duì)濕度過(guò)60%RH的環(huán)境中可以活躍地繁殖，一些菌群在相對(duì)濕度過(guò)30%RH時(shí)就可以增長(zhǎng)，可見(jiàn)控制濕度的重要性。

隨著車間對(duì)空氣質(zhì)量指標(biāo)的高要求，無(wú)塵車間安裝管道除濕機(jī)或者是恒溫恒濕機(jī)等設(shè)備是勢(shì)在行的。其中除濕機(jī)的原理是用蒸發(fā)器在降溫的同時(shí)，又可以回收系統(tǒng)的熱量來(lái)彌補(bǔ)散失的熱量，既能源合理利用又節(jié)能，如今越來(lái)越多地應(yīng)用。

那么潔凈廠房、潔凈室、無(wú)塵室常見(jiàn)的除濕設(shè)備有哪些呢？

1、立柜式除濕機(jī)

2、管道&吊頂式除濕機(jī)

3、恒溫恒濕機(jī)